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29.11.2007 - Stärkung des Mikroelektronikstandorts Dresden

In einer Feierstunde wurden heute im Advanced Mask Technology Center (AMTC) in Dresden die Erfolge des kürzlich abgeschlossenen Projekts "Abbildungsmethodiken für nanoelektronische Bauelemente" (ABBILD) gewürdigt. Das Projekt des Bundesministeriums für Bildung und Forschung (BMBF) stand unter der Federführung des AMTC, einem europäischen Zentrum für die Entwicklung und Pilotproduktion von Photolithographiemasken. Als Fazit zogen die Projektbeteiligten, dass die weltweit starke Position der deutschen Halbleiterindustrie in der Nanoelektronik durch die BMBF-Förderung weiter ausgebaut werden konnte.

ABBILD startete im Oktober 2003, um neuartige Masken- und Abbildungsmethoden für die nächsten Generationen von Halbleiterchips zu entwickeln. Photomasken sind hochreine Glasscheiben, die präzise Abbildungen integrierter Schaltkreise enthalten und für die optische Umsetzung dieser Schaltkreise auf Siliziumscheiben (Wafer) genutzt werden. In dem Projekt bündelten unter Koordination des AMTC Partner aus Industrie und Forschung ihr Know-how mit dem Ziel, leistungsfähigere und gleichzeitig preiswertere Chips zu entwickeln und so ständig innovativere Anwendungen zu ermöglichen. Die Zusammenarbeit  führte zu technologischen Fortschritten in den Bereichen Chip-, Tool-, Masken- und Softwareentwicklung, so das AMTC.

"Die Bündelung der nationalen Entwicklungsaktivitäten hier in Dresden war Voraussetzung für den Erfolg von ABBILD", so Ministerialdirektor Dr. Wolf-Dieter Lukas vom BMBF heute in Dresden. "In Zukunft muss genau dieser Weg fortgesetzt und eine gemeinsame Innovationsstrategie aller Partner umgesetzt werden. Die Hightech-Strategie der Bundesregierung bietet hierfür geeignete Rahmenbedingungen." Die neusten Chipgenerationen, die u.a. in Servern, Notebooks, Unterhaltungselektronik und Mobiltelefonen eingesetzt werden, basieren auf modernster Maskentechnologie.

Mathias Kamolz, Geschäftsführer des AMTC: "Durch die Unterstützung des BMBF konnte sich das AMTC als führendes Maskenhaus Europas und eines der besten weltweit entwickeln, und so den Technologiestandort Deutschland sowie die Positionen der Partner in der Chipindustrie, AMD und Qimonda, maßgeblich stärken." Das BMBF förderte das Projekt über einen Zeitraum von vier Jahren mit insgesamt 63,3 Millionen Euro. Projektteilnehmer waren AMD, AMTC, Fraunhofer IISB, Hamatech APE, IMS Chips Stuttgart, M&W Zander, NaWoTec / Zeiss, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Qimonda, Siemens, Schott Lithotec, Sigma C / Synopsis, Teraport, Toppan Photomasks Germany und Vistec Semiconductor Systems.


Die Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG (AMTC) ist ein Joint Venture von Advanced Micro Devices, Inc., Infineon AG und Toppan Photomasks, Inc. Die drei Partner sind an dem Unternehmen zu gleichen Teilen beteiligt. Das AMTC ist ein weltweit führendes Zentrum für die Entwicklung und Pilotproduktion von hoch entwickelten Masken für die Photolithographie.

(29.11.2007 / Quelle: saxxess.com / Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG / Bild: Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG)