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07.11.2007 - Carl Zeiss eröffnet Forschungszentrum in Dresden und startet mit Partnern Projekt zur Chipentwicklung

Im Bereich der Chipproduktion nimmt Dresden eine führende Rolle ein. Um den Mikroelektronikstandort weiter zu stärken, insbesonere auf dem Gebiet der Halbleiteranalytik und Metrologie, starten die Unternehmen Carl Zeiss SMT, AMD und Qimonda eine Kooperation im Rahmen des Verbundprojektes "Nanoanalytik". Dieses fördert das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) mit 12 Millionen Euro. Gemeinsam sollen die Verbundpartner an neuen Analyse- und Charakterisierungsmethoden forschen, die für die Entwicklung der nächsten Chipgenerationen erforderlich sind. Ein wichtiger Baustein innerhalb des Projektes ist dabei das neu gegründete Carl Zeiss Innovation Center, das am Dienstag in Dresden eröffnet wurde. Wissenschaftler werden dort zukünftig an der Entwicklung neuer Materialien für die Chipherstellung forschen.

Dr. Dirk Stenkamp, Vorstandsmitglied von Carl Zeiss SMT, begründet das Engagement seines Unternehmens in Sachsen folgendermaßen: "Mit unserem Innovation Center engagiert sich Carl Zeiss SMT in Europas führendem Mikroelektronikcluster, dem "Silicon Saxony". Dadurch wird dieses nicht nur in seiner Funktion als Forschungsstandort gestärkt, sondern auch die Weiterentwicklung der dort ansässigen Halbleiterindustrie gefördert." In dem neuen Forschungszentrum werden höchstauflösende Partikelstrahlsysteme installiert, die anstelle von Licht Elektronen- und Ionenstrahlen verwenden. Diese Systeme ermöglichen die Abbildung, Analyse und Bearbeitung von Proben bis zur Ebene einzelner Atome. Somit tragen sie dazu bei, dass dreidimensionale Halbleiterstrukturen charakterisiert sowie neue Materialien für die Chipherstellung entwickelt werden können.

Als Hersteller von Mikroprozessoren steht AMD vor der Herausforderung, immer komplexere Strukturen in immer kleineren Dimensionen fertigen zu müssen, betont Dr. Udo Nothelfer, Vice President von AMD Fab 36 in Dresden. "Prozesskontrolle auf atomarem Niveau spielt daher eine herausragende Rolle. Durch die gemeinsamen Arbeiten im Carl Zeiss Innovation Center Dresden haben wir Zugang zu neuesten Elektronen- und Ionenmikroskopen und können so die Einführung neuer Technologien weiter beschleunigen. Die Erfahrungen aus der industriellen Nutzung können wiederum frühzeitig in die Entwicklung zukünftiger Analysegeräte einfließen", so Nothelfer weiter. 

Das Carl Zeiss Innovation Center ist jedoch nicht allein für die Forschungsarbeit der Verbundpartner konzipiert, sondern steht allen interessierten Unternehmen und Institutionen im Raum Dresden zur Verfügung. Insbesondere die Partner des Silicon Saxony, wie die TU Dresden und das Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien CNT, können die Forschungsstätte nutzen, um Anwendungsfragen der Nanotechnologie zu lösen. Ministerialdirektor Dr. Wolf-Dieter Lukas, Leiter der BMBF-Abteilung "Schlüsseltechnologien - Forschung für Innovationen", sieht in dem Auf- und Ausbau von Kompetenzzentren der Mikroelektronik ein wichtiges Ziel des BMBF-Programms IKT2020. Lukas geht davon aus, dass es nur mit einer Fokussierung auf die Forschungsförderung möglich sein wird, Dresdens führende Rolle im Hightech-Bereich der Chipprodukltion zu erhalten und durch innovative Ansätze weiter auszubauen.


Die Carl Zeiss SMT AG ist eine 100-prozentige Tochter der Carl Zeiss AG mit Hauptsitz in Oberkochen (Baden-Württemberg). Das Unternehmen bietet seinen Kunden Produkte und Serviceleistungen auf dem Gebiet der licht-, elektronen- und ionenoptischen Technologien. Zum Einsatz kommen die Systeme und Lösungen der Carl Zeiss SMT in den Anwendungsfeldern der Nanotechnologie, Halbleitertechnik, Materialforschung und Life Sciences. Zusammen mit Tochtergesellschaften in Deutschland, England, Frankreich und den USA beschäftigt die internationale Unternehmensgruppe rund 2.400 Mitarbeiter.

AMD (Advanced Micro Devices) ist ein weltweit tätiger Hersteller von integrierten Schaltkreisen für PC und vernetzte Computer sowie für Kommunikationsanwendungen. Am Standort Dresden betreibt AMD die beiden Halbleiterwerke AMD Fab 30 und AMD Fab 36, in denen Prozessoren für Desktop- und mobile Anwendungen, Server und Workstations produziert werden. Hinzu kommen das Dresden Design Center - das europäische Zentrum der Produktentwicklung von AMD - und das Operating System Research Center. In Dresden beschäftigt AMD rund 3.000 Mitarbeiter.

Die Qimonda AG ist Anbieter von Speicherprodukten mit einem breiten DRAM-Produktportfolio. Das Unternehmen verfügt weltweit über rund 13.000 Mitarbeiter, kann auf fünf 300-mm-Fertigungsstätten auf drei Kontinenten zugreifen und betreibt sechs Forschungseinrichtungen, wobei Dresden das unternehmensweit führende Forschungs- und Entwicklungszentrum ist. Am Standort Dresden sind zurzeit etwa 3.000 Mitarbeiter beschäftigt. 

(07.11.2007 / Quelle: saxxess.com / Carl Zeiss SMT AG / AMD / Qimonda AG / Bild: Carl Zeiss SMT AG)