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14.12.2006 - AMD verbessert Performance von Prozessoren der 45-nm-Mikroprozessor-Generation
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Für die Herstellung der neuen leistungsfähigen Prozessoren-Generation setzt AMD auf Immersionslithographie. "Bei der Immersionslithographie wird der Raum zwischen dem Projektionsobjektiv des Stepper-Lithographiesystems und dem Wafer mit einer transparenten Flüssigkeit gefüllt. Diese wichtige Verbesserung des Lithographieprozesses ermöglicht eine erhöhte Tiefenschärfe und eine verbesserte Bildpräzision, die einen Beitrag zur Verbesserung der Performance auf Chip-Ebene und der Fertigungseffizienz leisten kann", sagt Dr. Hans Deppe, Corporate Vice President und Geschäftsführer von AMDs Fertigungsstandort in Dresden. Das Belichtungsverfahren erhöht die Performance einer SRAM-Zelle um zirka 15 Prozent, ohne dass kostenaufwändigere Doppelbelichtungen erforderlich sind.
Ein weiterer Schritt zur Verbesserung der Mikroprozessor-Performance ist die Verwendung von Ultra-Low-k-Dieleketrika. Sie trägt zur Reduzierung der Interconnect-Kapazität und der Leitungsverzögerung bei. Nach Aussagen des Herstellers wird, im Vergleich zu konventioneller Low-k-Dielektrika, die leistungsbezogene Verzögerung um 15 Prozent verringert.
Das Dresdner AMD Werk übernahm wesentliche Entwicklungsarbeiten für die neue 45-nm-Technologie. "Die Einführung von Immersionslithographie und Ultra-Low-k-Interconnect-Dielektrika in 45-nm-Verfahren ist ein erstes Beispiel des erfolgreichen Technologietransfers aus unserer innovativen Forschungstätigkeit am Albany Nanotech Center zur hochmodernen 300-mm-Fertigungs- und Entwicklungsstätte von IBM in East Fishkill, New York, sowie zum technologisch führenden 300-mm-Werk Fab 36 von AMD in Dresden", kommentierte Gary Patton, Vice President, Technology Development im Semiconductor Research and Development Center von IBM.
AMD (Advanced Micro Devices) ist ein weltweit tätiger Hersteller von integrierten Schaltkreisen für PC und vernetzte Computer sowie für Kommunikationsanwendungen. Am Standort Dresden sind die AMD Saxony LLC & Co. KG und die AMD Fab 36 LLC & Co. KG angesiedelt. AMD Saxony beschäftigt zurzeit rund 2.000 Mitarbeiter im Halbleiterwerk AMD Fab 30 und im Dresden Design Center, dem europäischen Zentrum von AMDs Produktentwicklung. Das 1969 gegründete Unternehmen arbeitet seit Januar 2003 mit IBM zusammen an der Entwicklung von Halbleiter-Fertigungstechnologien der nächsten Generation. Die gemeinsame Entwicklungsarbeit wird bis zum Jahr 2011 fortgesetzt und richtet sich in Zukunft auch auf die 32-nm- und 22-nm-Prozesstechnologie-Generationen.
(14.12.2006 / Quelle: saxxess.com / AMD / Bild: AMD)
