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26.04.2006 - Verbesserte Forschungsbedingungen für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik an der TU Dresden

Ein neuer Reinraumtrakt wurde am Dienstag von Sachsens Finanz-Staatssekretär Dr. Wolfgang Voß an die Wissenschaftler der Fakultäten Elektrotechnik, Mathematik und Naturwissenschaften der TU Dresden übergeben. Auf 410 Quadratmetern stehen nun in zentraler Lage modernste Forschungsbedingungen auf dem Dresdner Campus zur Verfügung. Der Neubau wird künftig von den Wissenschaftlern und Studierenden des Instituts für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik und anderer Institute genutzt werden.

"Die Mikroelektronik hat eine enorme Bedeutung für Dresden und ist eng mit der Technischen Universität verbunden. Umso wichtiger ist es, dass sich dies in hervorragenden baulichen und räumlichen Bedingungen widerspiegelt. Nun verfügen die Institute über Reinst- und Reinräume, die allen Anforderungen entsprechen." so Staatssekretär Voß zur herausragenden Bedeutung dieser Investition für den Wirtschafts- und Wissenschaftsstandort Dresden.

Für die TU Dresden ist die Investition ein weiterer Schritt in Richtung praxisnaher Ausbildung bei gleichzeitiger Standortförderung: "Die hervorragende Ausbildung an der TU Dresden ist sicher immer wieder ein großer Standortvorteil bei der Ansiedlung neuer Mikroelektronikbetriebe in Dresden gewesen. Wir möchten, dass dies so bleibt", so der Rektor der TUD, Professor Hermann Kokenge.

Professor Johann W. Bartha, der Direktor des Instituts für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik der TUD, in dessen Zuständigkeit das neue Reinraumgebäude fällt, sieht das ähnlich: "Die enge Zusammenarbeit mit den lokalen Betrieben der Halbleiterindustrie ist für die Ausrichtung unserer Forschung, aber auch für die Qualität der Ausbildung unserer Studenten von äußerster Wichtigkeit".

Im Juni 2004 wurde mit den Bauarbeiten begonnen. Die ingenieurtechnisch sehr anspruchsvolle Konstruktion des  Reinraumgebäudes stellte hohe Anforderungen - gleichermaßen an die ausführenden Fachfirmen und die Gebäudetechnik. Die Raumluft erreicht einen Reinheitsgrad von rund 330 Partikeln je Kubikmeter. Zum Vergleich: Bei der herkömmlichen Chipherstellung sind maximal etwa 3.300 Partikel je Kubikmeter zulässig. In normaler Raumluft ist oft das Millionenfache der Partikelmengen des neuen Reinraumes enthalten. Zudem war beim Bau der neuen Räume auf weitgehende Schwingungsfreiheit zu achten.

Staatssekretär Voß dankte bei der Übergabe Planern, Architekten, Bauleuten und dem Staatsbetrieb SIB mit seiner Niederlassung Dresden II, für die geleistete Arbeit. "Ein solches Gebäude zu errichten, ist eine hochkomplexe Aufgabe für erfahrene Spezialisten". Freistaat und Bund haben 8,1 Millionen Euro investiert. Insgesamt waren 34 Fachfirmen am Bau beteiligt, von denen 26 aus Sachsen kamen.

(26.04.2006 / Quelle: saxxess.com / TU Dresden / Bild: TU Dresden)