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28.07.2005 - Mikrosystemtechnik-Lösungen aus Chemnitz für Technologiepark in Japan

Wissenschaftler der Chemnitzer Abteilung "Micro Devices and Equipment" (MDE) des Fraunhofer-Institutes für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) Berlin, des Zentrums für Mikrotechnologien der TU Chemnitz und der Tohoku-Universität in Sendai, Japan, tun sich zusammen. Gemeinsam wollen sie - zunächst im neuen Technologiepark im japanischen Sendai - Mikrosystemtechnik-Lösungen für kleine und mittelständische Unternehmen entwickeln. "Für das IZM und das Zentrum für Mikrotechnologien bietet der Technologiepark in Sendai eine einmalige Gelegenheit, Kontakte zu kleinen und mittelständischen Unternehmen in Japan zu knüpfen", erklärt Prof. Dr. Thomas Geßner, Leiter der Chemnitzer Abteilung des Fraunhofer-Institutes sowie des Zentrums für Mikrotechnologien an der TU Chemnitz.

In der Millionenstadt Sendai entsteht ein so genanntes MEMS-Cluster. In einem Technologiepark können sich kleine und mittelständische Unternehmen, die Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) entwickeln, bauen und einsetzen, ansiedeln. "MEMS sind eine wichtige Zukunftstechnologie, denn die Komponenten sind klein, günstig und geradezu universell", erläutert Prof. Geßner. Sie werden heute bereits in der Optoelektronik, Biotechnologie, Genforschung und Automobilindustrie eingesetzt.

Speziell für die Anforderungen kleiner und mittelständischer Unternehmen werden Prof. Geßner in Chemnitz und Prof. Masayoshi Esashi von der Tohoku University jetzt ihr Know-how im Technologiepark Sendai bereitstellen. Professor Geßner hat langjährige Erfahrung mit Mikrosystemtechnik-Anwendungen in der Industrie, Esashi ist einer der weltweit führenden MEMS-Forscher in Japan. "Wir sind glücklich, in Prof. Esashi einen starken japanischen Partner zu haben, mit dem wir künftig gemeinsame Projekte akquirieren und durchführen können", so Geßner.


Das Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) an der TU Chemnitz ist als wissenschaftliche Betriebseinheit der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik angegliedert und dient der interdisziplinären Forschung auf den Gebieten der Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie. Die derzeitigen Forschungsarbeiten des Zentrums für Mikrotechnologien lassen sich den Schwerpunkten: Entwicklung von Technologien und Komponenten der Mikrosystemtechnik (Sensoren, Aktoren und Arrays), Entwicklung von Metallisierungssystemen für höchstintegrierte Schaltkreise (Kupfer, Barrieren, Dielektrika mit niedriger Dielektrizitätskonstante (low k) und Entwicklung von Technologien und Bauelementen der Nanotechnologie (single electron-Transistoren, ultradünne Barrieren) zuordnen. Dazu werden Grundlagenuntersuchungen, zu den beiden erstgenannten Schwerpunkten außerdem praxisnahe Verbundprojekte sowie direkte Forschungs- und Entwicklungsaufträge für die Industrie durchgeführt.


Die Abteilung "Micro Devices and Equipment" (MDE) wurde 1998 als Teil der Zweigstelle Chemnitz des Fraunhofer Institutes für Zuverlässigkeit und Mikrointegration gegründet. Die Abteilung MDE beschäftigt sich mit der Entwicklung Mikro-Elektro-Mechanischer Systeme (MEMS) sowie mit Technologien und Ausrüstungen zu ihrer Herstellung. Die Forschungsaktivitäten konzentrieren sich dabei auf neue Aufbau- und Verbindungstechniken, speziell auf die Kombination von Silizium-Mikromechanik mit miniaturisierter traditioneller Feinwerktechnik, sowie Schichtabscheidungs- (CVD, PVD) und Planarisierungstechnologien (CMP) für mikroelektronische Anwendungen.

(28.07.2005 / Quelle: saxxess.com / TU Chemnitz / Bild: Fraunhofer-Gesellschaft)

 

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