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09.02.2005 - Freiberger Forscher mit weltweit einmaligem Wafer-Testverfahren

Forschern der Bergakademie Freiberg ist ein spektakulärer Durchbruch bei der Fehlerprüfung von so genannten Silizium-Wafern gelungen. Nun will das Team des Instituts für Experimentelle Physik zusammen mit Industrie und anderen Forschungseinrichtungen die neue Technologie praxistauglich machen.

Gegenüber herkömmlichen Prüfmethoden zeichnet sich das unter Leitung von Prof. Jürgen Rüdiger Niklas entwickelte Verfahren dadurch aus, dass es eine bis in den atomaren Bereich gehende Analyse der Wafer ermöglicht. Zudem werden die Wafer, die Grundbaustein der Chipfertigung sind, bei der modernen Fehlersuche nicht zerstört oder durch Berührung beschädigt, da die neue Technologie auf Mikrowellen beruht. So sei es möglich, die bis zu 100 Einzelschritte umfassende Halbleiter-Fertigung einzeln für jeden Teilprozess auf Fehler zu untersuchen, erklärt Prof. Niklas im Gespräch mit saxxess.com.

In der Regel funktioniert ein gewisser Prozentsatz der auf den Wafern hergestellten Chips nicht. Dies verursacht bei den Unternehmen erhebliche Kosten. Umso mehr sind diese bemüht, die Ursachen solcher so genannten Ausbeuteprobleme zu ergründen und Abhilfe zu schaffen.

Zu diesem Zweck wollte das Forschungsteam um Prof. Niklas in einem Anfang Februar veranstalteten Workshop Interesse bei Wirtschaft und Wissenschaft wecken, um so das neue Verfahren in einem Forschungsverbund bis zur Praxistauglichkeit weiterzuentwickeln. Mehr als 100 Teilnehmer seien auf der Tagung anwesend gewesen, erläutert Prof. Niklas. Die Resonanz sei gemischt gewesen. Das liege aber auch daran, dass die Unternehmen sich bei etwaigen Fehlern in der Chip-Produktion nur ungern in die Karten schauen ließen. Zudem machten sich Ungenauigkeiten besonders bei Chips mit analoger Informationsverarbeitung bemerkbar. Trotzdem sei das Verfahren auch für Hersteller von digitalen Chips interessant, so Niklas, der sich optimistisch bezüglich der Weiterentwicklung zeigte.


Die TU Bergakademie Freiberg ist die kleinste der vier Universitäten im Freistaat Sachsen. Im Jahre 1765 gegründet, blickt die Bergakademie auf eine sehr traditionsreiche Geschichte zurück. Heute sind an der TU 4.600 Studenten eingeschrieben, die von 107 Professoren und Hochschuldozenten betreut werden.

(09.02.2005 / Quelle: TU Bergakademie Freiberg / Bild: TU Bergakademie Freiberg)