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01.02.2005 - European Mask and Lithography Conference (EMLC) tagt in Dresden

Noch bis Donnerstag tagen in Dresden Chipexperten aus aller Welt, um sich auf der European Mask and Lithography Conference über die Zukunft der Halbleitertechnologie auszutauschen. Unter der Schirmherrschaft von Bundeswirtschaftsminister Wolfgang Clement richtet die Mikroelektronik-Gesellschaft des deutschen Elektrotechnikverbandes VDE diese Fachtagung aus und bringt Chipforscher und -Hersteller an einen Tisch.

Neben zahlreichen Forschungsinstituten aus dem In- und Ausland nehmen verschiedene Ausrüsterunternehmen wie ASML, Phototronics, Carl Zeiss und Nikon, das Dresdner Maskenzentrum AMTC, aber auch Chiphersteller wie AMD und Infineon an der Tagung teil.

Ein umfangreiches Paket an Themen steht bei den Teilnehmern aus Deutschland, den USA, Japan, den Niederlanden, und Russland auf der Agenda. Der Wandel von der Mikro- zur Nanoelektronik, neue Methoden, mittels "alter" Anlagen noch höher integrierte Chips herzustellen ("Immersion Lithography"), Messtechniken, Prozesssimulationen, Chipmaskenfertigung per Elektronenstrahl und neue Halbleiter-Belichtungstechniken, die mit Röntgenstrahlung  ("EUV") arbeiten, werden hier im Vordergrund stehen.

Die bereits zum 21. Mal stattfindende Konferenz hat sich im Laufe der Zeit gewandelt: Zum einen liegt der Hauptfokus der Elektronikexperten nicht mehr nur bei den eigentlichen Belichtungsvorlagen (Masken) der Chips, sondern auch auf der strahlengesteuerten Strukturerzeugung (Lithographie) selbst.
Zum anderen ist es der Landeshauptstadt des IT-Landes Sachsen geglückt, die international renommierte Fachtagung auf Dauer von München nach Dresden zu holen. Diese Entwicklung lässt sich auf den hohen Stellenwert, den die sächsische Halbleiterbranche weltweit innehat, zurückführen.


Der VDE ist der Verband der Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik, ihrer Wissenschaften, der darauf aufbauenden Technologien und Anwendungen. Als Sprecher dieser Schlüsseltechnologien engagiert sich der VDE für ein besseres Innovationsklima, höchste Sicherheitsstandards, für eine moderne Ingenieurausbildung und eine hohe Technikakzeptanz in der Bevölkerung. Derzeit hat der Verband über 33.000 Mitgliedern, darunter 1.500 Unternehmen und 5.000 Studenten.

(01.02.2005 / Quelle: VDE / DNN / Bild: VDE)